干式螺桿真空泵是利用一對螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉而產生吸氣和排氣作用的一種真空抽氣設備。干式螺桿真空泵工作原理是：利用齒輪傳動同步反向旋轉的相互嚙合而不接觸左螺桿與右螺桿做高速轉動，利用泵殼和相互嚙合的螺旋將螺旋槽分隔成多個空間、形成多個級，氣體在相等的各個槽內進行傳輸運動，但無壓縮，只有螺桿最末端的螺旋結構對氣體有壓縮作用，最終形成真空。

一、干式螺桿真空泵的優點

    干式螺桿真空泵在工作時，相互之間無磨擦，運轉相對平穩，噪音比較低，工作腔不需潤滑油，因此，干式螺桿真空泵工作能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場合，極限真空度更高，消耗功率比較低，具有節能，免維修等優點。它是油封式真空泵的升級版產品。

二、干式螺桿真空泵工作原理

    干式螺桿真空泵工作原理主要是利用齒輪傳動同步反向旋轉的相互嚙合而不接觸的左螺桿與右螺桿作高速轉動，利用泵殼和相互嚙合的螺旋將螺旋槽分隔成多個空間、形成多個級，氣體在相等的各個槽內進行傳輸運動，無壓縮，只有螺桿最末端的螺旋結構才對氣體有壓縮的作用。螺桿的各級間可形成壓力梯度，以分散壓差和提高壓縮比，各部間隙和泵轉速對泵的性能有很大影響。在設計螺桿各部的間隙時，要考慮膨脹、加工及裝配精度和工作環境等。干式螺桿真空泵與羅茨真空泵一樣不設排氣閥。

干式螺桿真空泵的工作原理圖

三、干式螺桿真空泵結構原理

干式螺桿真空泵是立式結構，進氣口在上方，排氣口在中部，下部為電機和潤滑油池。螺桿轉子呈中空形，為懸臂支承結構。同步傳動齒輪位于軸承支座下面。變頻電機通過聯軸節與主動轉子連接，該泵的氣體路徑較短，且立式結構對排除含微塵氣體較為有利。泵外殼有水冷卻，泵維修也便利。

干式螺桿真空泵選用適當的較簡單螺桿牙型截面，那么它的優勢是則制造簡單，可保證很高的加工精度，且容易動平衡。根據其工作原理，我們可以可以明確地認識到，干式螺桿真空泵是一種極限真空度高、消耗功率比較低、節能、免維修等優點。